效劳Service-K7

K7

整齐有序的超净实验室、完备先辈的工艺线装备、生动专业的手艺团队。

实验室引见| 装备展现| 团队引见|

 

博奥生物微加工实验室竖立于2005年,作为博奥公司的主要支持平台之一,重要为公司以芯片实验室为代表的下一代产物的研发供应需要的技术支持和手艺贮备。同时,也面向国内外的各大学、公司及科研单位,正在微流体(Microfluidics)、微机电体系(MEMS)和芯片实验室(Lab-on-a-chip)等相干范畴供应周全、高效的微加工技术服务。
 
微加工实验室具有面积约400平米的超净间,具有可用于硅基、玻璃基和塑料基芯片研发和消费的全套微加工工艺设备,装备总价值达3000余万元。个中,有薄膜类工艺设备如化学气相堆积(PECVD)、磁控溅射台、电子束蒸发台、回响反映离子刻蚀机(RIE)等,有光刻类工艺设备如匀胶机、暴光机、显影机、基片洗濯机等,有封装类工艺设备如划片机、压焊机、热压键合机等,有测试类装备如台阶仪、探针台、显微镜、扫描电镜等。实验室具有完备而成熟的微加工工艺,可完成包孕基片预备、光刻、薄膜堆积、干法刻蚀、湿法侵蚀、电铸模具、塑料热压、阳极键合、芯片封装及测试等在内的齐系列微加工工序。
 
正在已往数年中,实验室正在微流体芯片和微电极芯片的设想、建造、封装取运用等方面停止了连续的开辟。正在基于SU8光刻、PDMS浇注、PMMA热压、玻璃微管讲刻蚀等工艺的微流体芯片的建造方面,正在基于多层布线工艺的微电极芯片的建造方面,和正在微电极芯片和微流体芯片的混淆封装方面积聚了大量的技术资料和雄厚的实践经验。我们不只为客户供应芯片加工、封装和测试等微加工效劳,借能够凭据客户需求,正在结构设计、数值盘算、图形绘制、芯片运用等环节供应专业的技术咨询效劳。
 

07www.xpj2229.com

 

                            光刻实验室(100级无尘室)                              薄膜实验室 (1000级无尘室) 

 

 

1404

 

                              基片预备室(1000级无尘室)                            气体室(1000级无尘室) 

 

薄膜类装备

新葡京官方网址
磁控溅射台
图片5
电子束蒸发台
PECVD2
PECVD


光刻类装备

匀胶机
匀胶机
光刻机
暴光机
显影机
显影机


封装类装备

划片机3
划片机
压焊机2
压焊机
热压机2
热压键合机


检测类装备

扫描电镜2
扫描电镜
台阶仪
膜厚仪(台阶仪)
探针台
探针台


别的

RIE
等离子刻蚀机(RIE)
洗濯台
洗濯台
 

 

 

 

 

 

 

 

奥门新萄京网站

 

 
 
我们的团队:

手艺团队现在包孕:

初级工艺师1名、

博士1名、

硕士2名、

本科大专学历3名。

 

专业配景触及生物、物理、化学、

质料、模具制造、微加工等范畴。

 
 
他们傍边
有从业多年、经验丰富的工艺技师,
有专心研讨、才能凸起的手艺妙手,
有资格深沉、见地多广的征询专家,
有擅长进修、充满活力的青年技工。